光電直讀光譜儀要做好直讀光譜儀的維護保養，要按時清潔儀器可見光透鏡和紫外光透鏡，定期檢查更換排氣瓶的水量，定期清潔空氣濾芯、更換濾芯。

光電直讀光譜儀要定期清潔火花臺，樣品激發的過程產生的金屬蒸氣一部分附在火花臺上，久而久之大量粉末沉積，降低兩電之間的絕緣性能，影響激發效果。

直讀光譜儀的光室的作用

直讀光譜儀在分析某些種類的金屬時（如鑄鐵、不銹鋼、低合金鋼）， C、P、S、As、N這些元素都是需要檢測的。這些元素光譜線均在真空紫外波段，而空氣中的氧氣、氮氣、水蒸氣等會對紫外區譜線產生強烈的吸收，使光譜儀能夠測量到的紫外光譜強度急劇減弱，進而影響被測元素的準確性及穩定性。所以必須將光室中的空氣和水蒸氣必須除去，才能實現較為穩定的紫外區元素檢測結果